Offene LängenmessgeräteOffene Längenmessgeräte
Offene Längenmessgeräte kommen an Maschinen und Anlagen zum Einsatz, die eine hohe Genauigkeit des angezeigten Messwerts erfordern.
Typische Einsatzgebiete sind:
- Fertigungs- und Messeinrichtungen der Halbleiter-Industrie
- Bestückungsautomaten
- Ultrapräzisions-Maschinen und -Apparaturen.
- hochgenaue Werkzeugmaschinen
- Messmaschinen und Komparatoren, Messmikroskope und andere
- Präzisionsgeräte der Messtechnik
- Direktantriebe
Baureihe |
Beschreibung |
LIC |
Die offenen Längenmessgeräte LIC ermöglichen eine absolute Positionserfassung über große Verfahrwege bis 27 m bei ebenfalls hoher Verfahrgeschwindigkeit. Sie entsprechen in Montage und Abmessungen dem LIDA 400. |
LIP |
Die offenen Längenmessgeräte LIP zeichnen sich durch kleinste Messschritte bei gleichzeitig höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit aus. Sie arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip und besitzen als Maßverkörperung ein DIADUR-Phasengitter. |
LIF |
Die offenen Längenmessgeräte LIF verfügen über eine im SUPRADUR-Verfahren hergestellte Maßverkörperung und arbeiten nach dem interferentiellen Abtastprinzip. Sie besitzen eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, lassen sich besonders einfach montieren und verfügen über Limit-Schalter und Homing-Spur. Die spezielle Version LIF 481 V kann im Hochvakuum bis 10–7 bar eingesetzt werden (siehe separate Produktinformation). |
LIDA |
Die offenen Längenmessgeräte LIDA eignen sich besonders für hohe Verfahrgeschwindigkeiten bis 10 m/s. Sie sind durch die verschiedenen Montagemöglichkeiten besonders flexibel einsetzbar. Je nach Version |
PP |
Das Zwei-Koordinaten-Messgerät PP besitzt als Maßverkörperung eine im DIADUR Verfahren hergestellte flächige Phasengitterstruktur die interferentiell abgetastet wird. Dadurch ist die Positionserfassung in der Ebene möglich. |
Mechanischer Aufbau
Offene Längenmessgeräte bestehen aus einem Maßstab bzw. Maßband und einem Abtastkopf und arbeiten berührungslos. Bei offenen Längenmessgeräten wird der Maßstab auf einer Montagefläche befestigt. Eine hohe Ebenheit der Montagefläche ist daher eine notwendige Voraussetzung für hohe Genauigkeiten des Längenmessgerätes.