KGM

    Technische Kennwerte

    KGM 181

    KGM 182

    KGM 281

    KGM 282

    Maßverkörperung

    Längenausdehnungskoeffizient

    Zwei-Koordinaten TITANID-Phasengitter-Teilung

    αtherm  8 x 10–6 K–1

    Genauigkeitsklasse

    ±2 µm

    ±1 µm

    Messbereich

    ¬ 140 mm

    ¬ 230 mm

    ¬ 140 mm

    ¬ 230 mm

    Inkrementalsignale

      1 VSS

    Signalperiode

    4 µm in Messrichtung I und II

    Messschritt

    0,001 µm (mit EIB 74x)

    Spannungsversorgung

    5 V ±0,25 V/< 100 mA (je Achse)

    Aufnahme Abtastkopf

    ¬ 20h7

    Verfahrgeschwindigkeit

    80 m/min

    72 m/min

    Masse

    Messplatte

    Abtastkopf

    ca. 4,0 kg

    ca. 0,6 kg

    ca. 3,1 kg

    ca. 0,6 kg

    ca. 2,3 kg

    ca. 0,6 kg

    ca. 4,9 kg

    ca. 0,6 kg