Elektronikindustrie

Die permanente Miniaturisierung der Bausteine ist Treiber für schnelle Fortschritte in der Elektronik. Basis für die immer kleineren Dies im Front-End, für immer komplexere Chips im Back-End und für immer dichter bestückte Platinen in der Elektronikfertigung ist die kontinuierlich verbesserte Genauigkeit der eingesetzten Mess- und Bewegungstechnik.
ETEL-Plattformen mit HEIDENHAIN-Messgeräten sowie ETEL-Bewegungssteuerungen und -Positionsregler liefern höchste Genauigkeit und herausragende Performance. Messgeräte von NUMERIK JENA und RSF runden diese High-End-Lösungen ab. 

Unsere Highlights für die Halbleiter- und Elektronikfertigung

Fortschritte bei der Positioniergenauigkeit führen zu immer leistungsfähigeren Chips und Elektronikbaugruppen – 
das beflügelt die Positionsmessung.

Lösungen für das Front-End in der Halbleiterfertigung

Optimiert für die Herstellung von Dies

Offene Längenmessgeräte von HEIDENHAIN sind optimiert für den Einsatz an hochgenauen und dynamischen Maschinen, wie sie im Front-End der Halbleiterfertigung gefordert sind. Sie gewährleisten eine hohe Langzeitstabilität, außerdem sind sie schnell und einfach zu montieren.

Modulare Winkelmessgeräte mit optischer Abtastung und ohne Eigenlagerung der Baureihe ERP können Sie in diesen Anwendungen an großen Hohlwellen und bei hohen Drehzahlen bis zu 20 000 min–1 einsetzen. Sie haben eine besonders geringe Masse und somit sehr geringes Massenträgheitsmoment, erfordern also kein zusätzliches Anlaufdrehmoment – ein besonderer Vorteil für die Maschinen in der Halbleiterfertigung.

ETEL-Bewegungssysteme bieten Ausbaustufen von einer eigenständigen X-Achse bis hin zu Komplettlösungen mit sieben Achsen. Damit decken sie in der Halbleiterfertigung ein breites Anwendungsspektrum ab. Die vertikale Integration des ETEL-Know-hows für Motor, Elektronik sowie Steuerung und die HEIDENHAIN-Expertise zur Positioniergenauigkeit bietet klare Vorteile, z. B. eine exzellente bidirektionale Wiederholgenauigkeit von ±250 nm.

Mess- und Bewegungstechnik für das Back-End

Längenmessgeräte für unterschiedlichste Back-End-Applikationen

Maschinen und Anlagen für das Back-End in der Halbleiterfertigung stellen eine große Bandbreite an unterschiedlichen Anforderungen. Für alle bieten HEIDENHAIN sowie die Marken NUMERIK JENA und RSF maßgeschneiderte Längenmessgeräte an. Von höchster Genauigkeit bis zu ultrakleinen Abmessungen sind alle Konstellationen möglich, um den besonderen Ansprüchen Ihrer Applikation Rechnung zu tragen. 

Winkel in Back-End-Applikationen hochgenau messen

Damit Rundachsen im Bondingprozess, beim Packaging oder bei anderen Back-End-Anwendungen der Halbleiterfertigung immer die richtige Position haben, sind hochgenaue Messgeräte gefordert. Bei HEIDENHAIN finden Sie dazu zwei Lösungen: Modulare optische Winkelmessgeräte der Baureihen ERP bzw. ERO oder Winkelmessmodule vom Typ MRP, die Ihnen als optimal aufeinander abgestimmte Kombinationen von Winkelmessgeräten und hochpräzisen Lagern mit geprüften und spezifizierten Eigenschaften die Handhabung und Montage erleichtern.

Mechatronische Bewegungssysteme für High-End-Anwendungen

ETEL bietet Ihnen eine breite Palette von Antriebssystemen. Vom Stand-alone-Produkt bis hin zur hochintegrierten Plattform finden Sie Lösungen, die den besonderen Anforderungen der Halbleiteranwendungen erfüllen. Als Maschinenhersteller können Sie sich auf Ihre Kernkompetenz konzentrieren. Leistungsstarke mechatronische Bewegungslösungen finden Sie bei ETEL.

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Zu den Highlights

Messgeräte für die Fertigung von Baugruppen und Leiterplatten

Offene Längenmessgeräte für hochdynamische Prozesse

Bei der Bestückung von Baugruppen und Leiterplatten in der Elektronikfertigung steht die Dynamik der Prozesse in Vordergrund. Offene Längenmessgeräte der Baureihen LIC und LIDA von HEIDENHAIN bringen die entsprechenden Voraussetzungen mit und kombinieren die erforderliche Genauigkeit mit hohen Verfahrgeschwindigkeiten. Messgeräte von NUMERIK JENA und RSF eigenen sich vor allem für individuelle, kundenspezifische Lösungen. 

Rundachsen exakt positionieren

Modulare optische Winkelmessgeräte vom Typ ERO oder ERA sind auch in Maschinen für die Baugruppen- und Leiterplattenfertigung erste Wahl an großen Rundachsen. Besonders einfach in der Handhabung und Montage sind die MRP-Winkelmessmodule. Sie kombinieren Winkelmessgerät und hochpräzises Lager zu einem hochintegrierten Bauteil mit spezifierten Eigenschaften. So bilden Winkelmessmodule eine echte Alternative zu luftgelagerten Achsen und sparen aufwendige Abstimmungsprozesse nach der Montage. Und als Alternative finden Sie bei RSF das absolute Winkelmessgerät MCR 15 mit seiner speziellen Auslegung für elektrische Antriebe. 

 

Dynamisch bewegen mit ETEL

XY-Tisch, Portalsystem oder Drehtisch – für alle Konstruktionsvarianten bietet ETEL Lösungen als komplette Bewegungssysteme mit Direktantriebstechnik an. Damit haben Sie als Maschinenhersteller die Möglichkeit, von der einfachsten Form mit zwei linearen Freiheitsgraden über die lineare Bewegung im Raum bis hin zur Kombination mit rotativen Achsen alle Bewegungen mit hochdynamischen und hochgenauen Systemen zu realisieren. Die ETEL-Lösungen bieten dabei immer eine optimale Raumnutzung für möglichst kompakte Maschinen.

Messgeräte für zukunftsweisende LED- und Bildschirmtechnologien

Brillante Anzeigen dank exakter linearer Positionierung

Ihre gestochen scharfe Darstellung und die klaren, leuchtenden Farben verdanken ultraflache Bildschirme vom kompakten Touchscreen im Smartphone bis hin zum UHD-Großbild-TV auch der Positioniergenauigkeit der Fertigungsanlagen für die LED-Technologie. Dafür sorgen ebenso wie in den anderen Bereichen der Elektronikindustrie offene Längenmessgeräte von HEIDENHAIN, NUMERIK JENA und RSF. 

Maximale Genauigkeit auch an der Rundachse

Die modularen optischen Winkelmessgeräte der Baureihen ERO, ERP, ECA und ERA decken alle Anforderungen an Genauigkeit, Dynamik und Zuverlässigkeit bei rotativen Bewegungen in der Herstellung von LEDs und Bildschirmen ab. So können Sie immer genau das Messgerät auswählen, dessen Eigenschaften perfekt zu Ihrer Applikation passen. 

Hohe Genauigkeiten dauerhaft über die gesamte Lebensdauer: 
Der Signal-Processing-ASIC HSP 1.0

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