LIP 481V / LIP 481U

    Technische Kennwerte

    Technische Kennwerte

    LIP 481 V

    LIP 481 U

    Einsatzgebiet

    Hochvakuum, bis 10–7 mbar

    Ultrahochvakuum, bis 10–11 mbar

    Maßverkörperung*

    Längenausdehnungskoeffizient

    DIADUR-Phasengitter auf Glas- oder Zerodur-Glaskeramik

    Glas: αtherm  8 · 10–6 K–1; Zerodur-Glaskeramik: αtherm  (0 ± 0,1) x 10–6 K–1

    Genauigkeitsklasse*

    ± 1 µm, ± 0,5 µm

    Positionsabweichung

    innerhalb einer Signalperiode

    ± 0,02 µm

    Messlänge ML* in mm

    70 120 170 220 270 320 370 420

    Referenzmarken

    eine in der Mitte der Messlänge

    Ausgangssignale

      1 VSS

    Signalperiode

    2 µm

    Grenzfrequenz –3 dB

    300 kHz

    Verfahrgeschwindigkeit

    36 m/min

    Spannungsversorgung

    Stromaufnahme

    DC 5 V ± 5%

    < 190 mA

    Elektrischer Anschluss

    Sub-D-Stecker (Stift) 15-polig; Schnittstellen-Elektronik im Stecker integriert

    Gehäusedurchführung* ­(siehe Seite 4)

    • ohne (Schnittstellen-Elektronik im Vakuum)
    • Hochvakuumtauglich (Schnittstellen-Elektronik außerhalb Vakuum)

    Sub-D (nicht im Lieferumgang; Schnittstellen-­Elektronik außerhalb Vakuum)

    Kabellänge Abtastkopf bis APE*

    • 0,5 m oder 1 m
    • 0,5 m oder 1 m bis Gehäusedurchführung und 0,5 m bis APE

    0,5 m oder 1 m bis Gehäusedurchführung und 0,5 m bis APE

    Andere Kabellängen auf Anfrage; jedoch 3 m zwischen Abtastkopf und APE

    Kabellänge nach APE

    20 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

    Vibration 55 bis 2 000 Hz

    Schock 11 ms

    200 m/s2 (EN 60 068-2-6)

    500 m/s2 (EN 60 068-2-27)

    Arbeitstemperatur

    0 °C bis 40 °C

    Ausheiz-Temperatur

    100 °C

    120 °C

    Materialien

    Platine: Keramik

    Klebstoffe: UHV-fähig, temperaturbeständig

    Masse Abtastkopf

    Stecker

    Maßstab

    Anschlusskabel

    50 g (ohne Anschlusskabel)

    32 g; mit integrierter Anpass-Elektronik: 140 g

    5,6 g + 0,2 g/mm Messlänge

    38 g/m

    * bei Bestellung bitte auswählen