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Technische Kennwerte |
LIP 481 V |
LIP 481 U |
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Einsatzgebiet |
Hochvakuum, bis 1 · 10–7 mbar |
Ultrahochvakuum, bis 1 · 10–11 mbar |
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Maßverkörperung* Längenausdehnungskoeffizient |
SUPRADUR-Phasengitter auf Glas- oder Zerodur-Glaskeramik Glas: αtherm 8 · 10–6 K–1; Zerodur-Glaskeramik: αtherm (0 ± 0,1) · 10–6 K–1 |
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Genauigkeitsklasse* |
±1 µm, ±0,5 µm |
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Basisabweichung |
≤ ±0,175 µm/5 mm |
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Messlänge ML* in mm |
70 120 170 220 270 320 370 420 |
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Referenzmarken |
eine in der Mitte der Messlänge |
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Ausgangssignale |
1 VSS |
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Signalperiode |
2 µm |
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Grenzfrequenz –3 dB |
≥ 300 kHz |
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Verfahrgeschwindigkeit |
36 m/min |
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Interpolationsabweichung Positionsrauschen RMS |
±7 nm 2 nm (450 kHz) |
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Versorgungsspannung Stromaufnahme |
DC 5 V ±5% < 190 mA |
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Elektrischer Anschluss |
Stecker Sub-D, Stift, 15-polig; Schnittstellen-Elektronik im Stecker integriert |
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Gehäusedurchführung* (siehe Seite 4) |
ohne (Schnittstellen-Elektronik im Vakuum) |
Sub-D (nicht im Lieferumgang; Schnittstellen-Elektronik außerhalb Vakuum) |
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Kabellänge Abtastkopf bis APE* |
0,5 m oder 1 m |
0,5 m oder 1 m bis Gehäusedurchführung und 0,5 m bis APE |
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Andere Kabellängen auf Anfrage; jedoch ≤ 3 m zwischen Abtastkopf und APE |
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Kabellänge nach APE |
≤ 20 m (mit HEIDENHAIN-Kabel) |
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Vibration 55 Hz bis 2000 Hz Schock 11 ms |
≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27) |
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Arbeitstemperatur |
0 °C bis 40 °C |
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Ausheiztemperatur |
100 °C |
120 °C |
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Materialien |
Platine: Keramik Klebstoffe: UHV-fähig, temperaturbeständig |
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Masse Abtastkopf Stecker Maßstab Anschlusskabel |
50 g (ohne Anschlusskabel) 32 g; mit integrierter Anpass-Elektronik: 140 g 5,6 g + 0,2 g/mm Messlänge 38 g/m |
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* Bei Bestellung bitte auswählen |
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